12月26日,天馬新型顯示技術研究院(廈門)有限公司搬入首臺設備。
據邁為股份官微消息,此次搬入的設備為Micro LED巨量轉移設備,是由邁為股份自主研發、設計、制造的。該設備采用激光巨量轉移技術,利用特殊整形后的方形勻化光斑,結合高速度高精度振鏡掃描,可以實現高效率及高品質的加工,將微米級Micro LED晶粒批量轉移到目標基板上。
邁為股份表示,Micro LED巨量轉移設備是Micro LED制程中的核心裝備及高價值裝備之一,是影響Micro LED良率與制造成本的關鍵。在前期的產品驗證階段,邁為股份和天馬新型顯示技術研究院基于各自的專業領域攜手合作,邁為從整線設備方案出發優化設備結構設計與激光工藝技術,天馬新型顯示技術研究院從芯片與膠材開發方面提升工藝窗口,最終成功實現大范圍三色拼接轉移驗證,且轉移后無明顯塵粒(particle),落位精度及偏轉角度均達到行業領先水平。今年6月30日,雙方就此款設備達成采購訂單。
除Micro LED巨量轉移之外,邁為股份還與天馬新型顯示技術研究院在激光剝離、激光鍵合設備及工藝領域協力開發,致力于共同開創基于TFT(薄膜晶體管)技術的Micro LED技術新紀元。