據(jù)“欣奕華”,6月13日,合肥欣奕華智能機(jī)器股份有限公司(以下簡稱“欣奕華智”)宣布,其首臺(tái)Micro LED激光巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備正式下線交付客戶。該設(shè)備的成功開發(fā)與交付,標(biāo)志著欣奕華智在新型顯示技術(shù)領(lǐng)域取得了重大突破,將有力推動(dòng)Micro LED產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
Micro LED作為新一代顯示技術(shù),具有高亮度、高對(duì)比度、高刷新率等優(yōu)點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于電視、顯示器、虛擬現(xiàn)實(shí)等領(lǐng)域。而激光巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備作為Micro LED制程中的關(guān)鍵設(shè)備之一,對(duì)于實(shí)現(xiàn)Micro LED的大規(guī)模量產(chǎn)至關(guān)重要。
欣奕華智此次交付的Micro LED激光巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備,采用了多項(xiàng)自主研發(fā)的核心技術(shù),具備多項(xiàng)行業(yè)領(lǐng)先優(yōu)勢。設(shè)備搭載超高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái),可實(shí)現(xiàn)精密自動(dòng)對(duì)位和芯片高效巨量轉(zhuǎn)移,芯片轉(zhuǎn)移綜合精度控制在1.5μm以內(nèi),確保了芯片轉(zhuǎn)移的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。同時(shí),自主設(shè)計(jì)的光路系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)了光斑高均勻性和穩(wěn)定性,為芯片轉(zhuǎn)移提供了可靠的光學(xué)保障。此外,設(shè)備還具備晶圓姿態(tài)檢測及校正功能、光斑位置自校正功能,進(jìn)一步提升了設(shè)備穩(wěn)定性和生產(chǎn)效率。
在兼容性方面,該設(shè)備最大支持G2.5代(370mmX470mm)基板,可滿足不同客戶的多樣化需求。搭配欣奕華智自研的Micro LED準(zhǔn)分子激光剝離設(shè)備、DPSS固體激光剝離設(shè)備,能夠?yàn)榭蛻籼峁┮徽臼降腗icro LED制程解決方案,助力客戶降低生產(chǎn)成本,提高生產(chǎn)效率。
此次首臺(tái)Micro LED激光巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的交付,不僅彰顯了欣奕華智自成立以來在新型顯示領(lǐng)域不斷積累的技術(shù)研發(fā)和創(chuàng)新實(shí)力,更為公司未來發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。隨著Micro LED技術(shù)的日益成熟和應(yīng)用場景的持續(xù)拓展,欣奕華智的Micro LED 激光巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備有望在市場中獲得廣泛應(yīng)用。